依据基底材料的特性、基底表面的精度、表面粗 糙度及微粒污染物的种类，可以将目前的激光清洗方法分成以下两大类。

１）激光干式清洗法。激光直接照射在物体表面，污染微粒或表面吸收能量后，通过热扩散、光分解、气化等使微粒离开表面。

２）激光湿式清洗法。在欲清洗的材料表面喷上一些无污染的液体（主要是水，有时也采用酒精），然后用激光照射，液体介质吸收激光能量后，产生爆炸性汽化，把其周围的污染微粒推离材料表面。 此外还有人提出了所谓的激光复式清洗法。激光能量被基底材料吸收，然后通过热对流，把吸附的中间介质加热，中间介质产生爆炸性汽化，在高气流的推动下，微粒随同中间介质一起脱开基底表面。